
| 1.電子線マイクロアナライザ | |
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本装置(EPMA-1600)は、電子線を用いた電子線顕微鏡としての形態観察、X線を用いた物質の構成元素の測定など、多様な情報をもとに物質の表面を分析する装置である。 |
| 2.エネルギー分散形X線分析装置 | |
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走査電子顕微鏡(JSM−5300) 本装置は5インチまでの大形試料を全面観察(R動使用)できる試料室を装 備し排気系及び写真撮影までの一連の操作を自動化している。 エネルギー分散形X線分析装置(JED−2001) 本装置は走査型電子顕微鏡の電子線照射によって発生するX線を測定し主 に元素分析を行うためのエネルギ−分散形X線分析装置です。 |
| 3.マ−カス型高周波グロ−放電発光表面分析装置 | |
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このマ−カス型高周波グロ−放電発光表面分析装置は、他の表面分析装置の様に高真空を必要とせず、良好な深さ分解能と非常に早いスパッタ速度が得られ、数nm〜数十μmの深さの被膜に対して、深さ方向の多元素同時測定を容易に行うことができます。 |
| 4.振動試料型磁力計 | |
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磁性体の磁化の大きさを測定する装置です。電磁石の空気間隙で磁化した試料を80Hzで振動させ、試料の磁化によって生ずる磁界によってその両側においた探索コイル内に振動磁束を生じさせ、その交流シグナルによって試料の磁化を測定します。 |
| 5.磁気異方性測定装置 | |
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本装置は磁性薄膜を中心とする強磁性材料の磁気異方性を測定する装置で、電磁石を−180度〜540度回転することにより試料各方向における異方性トルクを測定してトルク曲線を描くとともに(1)異方性定数(2)回転ヒステリシスロスを求めます。 |
| 6.分子線エピタキシャル装置 | |
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本装置は超高真空中(10-10Torr)に加熱された単結晶基板上に薄膜のエピタキシャル成長を行うものであり、多様な元素に対応できるようクヌーセンセル2基、EBガン2基のハイブリッド構成となっている。 |
| 7.マイクロ波共鳴測定装置 | |
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電子スピン共鳴は、フリーラジカル(物質中にある不対電子)が存在する場合、その磁気的な性質を通じて分子構造に関する貴重な情報を得る方法で、有機または無機化合物中のフリーラジカル、結晶の格子欠陥など、これら種々の目的に応じ適切な測定ができる。 |
| 8.フ−リエ変換赤外分光装置 | |
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FT−IRは異物分析を初め試料表面の変化を測定し反応メカニズムを分析したり、成分分析等を短時間に高感度で測定することが可能である。 |
| 9.可視紫外分光装置 | |
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本システムはkrレ−ザ−(647nm)及びArレ−ザ−(488nm、514.5nm)を光源とし、顕微ユニットを使用したミクロラマン測定・マクロ測定を目的とした分光システムである。 小型分光器と液体窒素冷却及びCCDとの組合せにより、広い波数範囲について高感度の測定が可能であり、又、SPEX1250M分光器との組合せにより、高分解能のラマン測定が可能である。 |
| 10.X線回折装置 | |
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このX線回折装置は高精度試料水平型ゴニオメ−タを搭載した最新のX線回折装置で、粉末試料・薄膜試料など多様な試料に加え大型試料の測定(幅400mm奥550mm高400mm)と、分析目的に応じてアタッチメントを取替れば薄膜測定・微小部測定が出来る。測定操作などのハ−ドウェアの制御はすべてコンピュ−タで行い測定とデ−タ処理が同時に可能。 |
| 11.精密万能試験機 | |
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オートグラフは、金属・セラミックス・プラスチック・ゴム…等の素材から、ネジ・電子部品・食品・医療品・フィルムなど様々な製品の品質管理や研究に不可欠の試験機で、材料強度の測定は本体剛性・負荷速度及び荷重速度の信頼性が非常に高いことが必要である。 AG-G形は優れた基本性能に加え、多彩な機能をシンプルな操作感覚で実現した試験機で、引張試験の他に圧縮・曲げ等様々な試験に使用できる。 |
| 12.日立走査電子顕微鏡 | |
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5kv〜30kvで加速され電子線を光源として二次電子像及び反射電子像を 50倍から50,000倍の倍率で観測できる。 |