エレクトロニクス研究所

試料作成機器

1.クロスセクションポリッシャ
本装置は、ターボ分子ポンプで排気されるチャンバー、オンソース、遮蔽(しゃへい)板保持機構、X-Y移動、角度調整可能な試料ステージ機構等により構成され、試料面上にセットされた遮蔽板にイオンビームを垂直に照射し、イオン照射を受けエッチングされる領域と、遮蔽(しゃへい)板で遮蔽(しゃへい)される領域の境界に沿って断面を形成させる試料作成装置である。

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2.研磨機(低周速ドクターラップ)
本装置は、ラップ定盤やポリシング用のクロスなど付属品を取り換えることで、試料の基準面研磨から鏡面仕上げ研磨まで目的に合わせた研究試料を作ることができる研磨機であり、金属試料の組織検査試料、岩石や鉱物などの薄片試料、複合材料の接合界面の検査など種々の研究試料の基準面を研磨することができる。

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3.マルチ製膜装置
本装置は、2つの試料処理チャンバーを持つ多目的簡易操作型カーボン蒸着、マグネトロンスパッタ製膜、親水処理機能を有するマルチ製膜装置であり、床置きロータリポンプによる排気で、2系統の排気管切替を行っている。

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4.イオンスパッタ
本装置は、導電性のない試料(生物試料など)を走査電子顕微鏡で観察する際に、試料表面の帯電による像障害を防止するために2~15 nm程度の金属を試料表面にコ-ティングするイオンスパッタである。本装置はダイオ-ド放電を利用しており、チャンバー内のプラズマはプラスイオンと電子で構成され、プラスイオンはマイナス電位のターゲットに入射しターゲット材料をスパッタし、中性原子を全方向に飛散させる。このとき飛翔中の中性原子は残留ガス分子と衝突を繰り返し試料ステージに様々な角度から降り注いで試料表面を均一にコーティングすることができる。

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5.ベルシャー型バキュームオーブン
本装置は、水、油などの熱媒体を使用せずに、微量な試料の加水分解、濃縮、加熱処理などに利用できるベルシャー型バキュームオーブンであり、ヒーター面の試料がガラスベルジャーで覆われているので、減圧下で濃縮や乾燥を行うことができる。また、バルブを設けているので不活性な雰囲気での一時的な保管やガス置換も可能で、医薬品などの減量試験に適している。

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6.定温乾燥器
本装置は、送風ファンがない自然対流式のスタンダードな定温乾燥器である。実用性の高い最高温度300 ℃まで昇温可能であり、充実した機能の設定をよりシンプル操作で行うことができる定値運転タイプである。

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7.ミニプレス機
本装置は、粉末成形や試料の圧縮試験等に使用するミニプレス機である。

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