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福岡工業大学 研究者情報

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■表題:供給空気の超精密・高速制御技術を用いた静圧空気軸受エアタービンスピンドルの制御
項目 内容
表題 供給空気の超精密・高速制御技術を用いた静圧空気軸受エアタービンスピンドルの制御
著者名 加藤友規
研究会/掲載誌名 福岡工業大学エレクトロニクス研究所所報
巻 号 頁 巻:30  号:   頁:13-19
発行年月 2013/10
言語種別 日本語
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