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■表題:Investigation of pressure control in balancing cylinder for hybrid electric-pneumatic ultra-precision vertical positioning device
項目 内容
表題 Investigation of pressure control in balancing cylinder for hybrid electric-pneumatic ultra-precision vertical positioning device
著者名 Tomonori KATO, Tetsuma HIRAKAWA, Shunta HONDA, Hiromi MASUDA
会議名/掲載誌名 Proceedings of the 12th International Conference on Motion and Vibration Control (MoViC2014)
巻 号 頁 巻:USB  号:   頁: 
発行年月 2014/8
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