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■表題:Pressure control in balancing cylinder for hybrid electric-pneumatic ultra-precision vertical positioning stage
項目 内容
表題 Pressure control in balancing cylinder for hybrid electric-pneumatic ultra-precision vertical positioning stage
著者名 Tomonori KATO, Tetsuma HIRAKAWA, Hiromi MASUDA
会議名/掲載誌名 Proceedings of The 6th International Conference on Positioning Technology (ICPT2014)
巻 号 頁 巻:   号:   頁:260-264
発行年月 2014/11
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