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■表題:A review of HPR and its applications -Control of air turbine spindle and hybrid electro-pneumatic ultra-precision vertical positioning stage
項目 内容
表題 A review of HPR and its applications -Control of air turbine spindle and hybrid electro-pneumatic ultra-precision vertical positioning stage
著者名 Tomonori KATO
会議名/掲載誌名 7th International Conference on Fluid Power and Mechatronics, Proceedings (FPM2015, Harbin, China)
巻 号 頁 巻:   号:   頁:3-1780
発行年月 2015/8
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