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■表題:Proposal of a Novel Pressure Control Method for Air Cylinders Used in Hybrid Electric-Pneumatic Ultra-Precision Vertical Positioning Device
項目 内容
表題 Proposal of a Novel Pressure Control Method for Air Cylinders Used in Hybrid Electric-Pneumatic Ultra-Precision Vertical Positioning Device
著者名 Tomonori KATO, Tetsuma HIRAKAWA
会議名/掲載誌名 Proceedings of The Thirtieth Annual Meeting of The American Society for Precision Engineering (ASPE2015, Austin)
巻 号 頁 巻:   号:   頁:522-525
発行年月 2015/11
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