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■論文名:A New, High Precision, Quick Response Pressure Regulator for Active Control of Pneumatic Vibration Isolation Tables
項目 内容
論文名 A New, High Precision, Quick Response Pressure Regulator for Active Control of Pneumatic Vibration Isolation Tables
著者名 Tomonori KATO, Kenji KAWASHIMA, Tatsuya FUNAKI, Kotaro TADANO, Toshiharu KAGAWA
掲載誌名 Precision Engineering
巻 号 頁 巻:34  号:1  頁:43-48
発行年月 2010/1
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