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■表題:Active Control of a Pneumatic Vibration Isolation Table using a Newly Developed Precise and High Response Pressure Regulator
項目 内容
表題 Active Control of a Pneumatic Vibration Isolation Table using a Newly Developed Precise and High Response Pressure Regulator
著者名 Tomonori Kato, Kenji Kawashima, Tatsuya Funaki, Harus Laksana Gunter, Toshiharu Kagawa
会議名/掲載誌名 Proceedings of 2007 IEEE Multi-conference on Systems and Control (IEEE MSC 2007), (CD-ROM)
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発行年月 2007/9
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