福岡工業大学

藤山　博一　研究室

所属／研究室

福岡工業大学　工学部　知能機械工学科
〒811-0295 福岡市東区和白東3-30-1
Ｄ棟４階

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教員プロフィール

氏　名：
藤山　博一（ふじやまひろかず／Hirokazu Fujiyama）
学　位：
工学博士
所属・職名：
工学部知能機械工学科　助教授
担当講義：
工学部知能機械工学科 　
  • 機械物理学実験（1年1組後期）
  • 知能機械総合実験II（3年1組後期，3年2組前期）
  • 表面の科学（4年合同前期）
  • メカトロニクス制御実験I（再履修生，通年）
大学院工学研究科知能機械工学専攻
  • 超精密加工学演習（1年後期）
趣　味：
バトミントン（活動中）・囲碁（休止中）

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研究業績

Ｉ．論文（査読付き）：
  • 耐摩耗アルミナ膜の超鋼工具へのスパッタコーティング，潤滑，第26巻，第 2号，120-126，（1981年 2月）， 李木経孝，桑原改造
  • Adhesion evaluation of R.F.-sputtered aluminium oxide and titanium carbide thick films grown on carbide tools. 　Thin Solid Films,Vol.79 ,91-100（1981），T. Sumomogi, K. Kuwahara
  • Adhesion failure of PVD films caused by repeated bending of substrates. Jap.J.Appl.Phys., Vol.　20, No.9,L643-L645 （1981）， K. Kuwahara, A. Nisimura
  • 高周波スパッタリングによる高速度鋼工具への耐摩耗アルミナ膜コーティング，潤滑，第28巻，第 3号,206-213，1983年 3月）， 桑原改造，李木経孝
  • Development of Resin-Bonded Diamond Wheels with Improved Wear Resistance Using Surface Modified Fine Grains Treated by Radio-Frequency Magnetron Sputtering．Annals of the CIRP, vol. 47／1(1998)271-274， T. SEMBA , H. SATO
  • ダイヤモンド砥粒や結合剤に対する改質と耐摩耗性に優れた極微粒レジンボンドホイールの発，日本機械学会論文集（Ｃ編）64-624(1998),3216-3223. 仙波卓弥，西岡健，佐藤眞，竹内恵三
  • 高周波マグネトロンスパッタリング法を用いた極微粒のダイヤモンド砥粒に対する表面改質と耐摩耗性に優れた極微粒レジンボンドホイールの開発，日本機械学会論文集（Ｃ編）65-632(1999),1704-1709，仙波卓弥，佐藤眞，竹内恵三
  • Effect of O2 Gas on Partial Pressure on Mechanical Properties of SiO2 Films Deposited by RF Magnetron Sputtering, J. Vac. Sci. Technol.A,20(2002),356-361, T. Sumomogi, and T. Endo

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II．国際会議（査読有り）：
  • Effect of Targets with Different Carbon Contents on Wear Resistance of SiC films Deposited by RF Magnetron Sputtering. The Third International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21si Century, vol. 3, (2005), 1069-1074, T.Sumomogi, M.Nakamura and K.Hamasaki
III．国際会議（proceeding）：
  • Effect of O2 Gas on Grain Size and Mechanical Properties of SiO2 Films by RF MagnetronSputtering. Preliminary Proceedings of STM'99(1999),429-430,T.Sumomogi , T.Endo
  • Influence of O2 Gas Partial Pressure and Substrate Temperature on Wear Resistance of Al2O3 films by RF Magnetron Sputtering. JSME/ASME International Conference on Materials and Processing 2002,vol.2(2002),464-467, T.Sumomogi, K. Uchijo
  • Mechanical Properties of Silicon Carbide Films Prepared by Magnetron Sputtering using Targets with Different Carbon Contents, ASPE 21st Annual Meeting, (2006) ,to be printed

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IV．論文（論集等、査読なし）及び特許：
  • 高周波スパッタリングによって製作したセラミックの化学組成とそのエロージョン特性,福岡工業大学研究論集，第 16号,51-55,（1984年 3月）,桑原改造，羽根辰男
  • スパッタアルミナ膜の硬さとエロージョン速度, 福岡工業大学研究論集，第 16号,56-62,（1984年 3月）, 桑原改造
  • 反応性イオンプレーティングにより作製したＴｉＣ膜の諸特性, 福岡工業大学研究論集，第 17号,25-30,（1985年 3月）桑原改造，西村秋典
  • ＳｉＯ真空蒸着膜内部応力がその硬さ値に及ぼす影響,福岡工業大学エレクトロニクス研究所所報，第 3巻,67-72,(1986年10月）,桑原改造
  • スパッタリングによって作製したセラミック保護膜の硬さ値,福岡工業大学エレクトロニクス研究所所報，第 5巻,55-60,（1988年10月）, 桑原改造
  • 真空蒸着法による一酸化けい素膜の真空焼鈍効果, 福岡工業大学エレクトロニクス研究所所報，第 6巻,123-128,（1989年10月）, 堀内俊寿，松重和美，桑原改造
  • ＴｉＮコーティングドリルの切削性能, 福岡工業大学研究論集，第22巻 第1号（通・23号）,53-58,（1989年10月）,後田保，安野英男，佐久間敬三
  • 真空蒸着法によるＡｌ薄膜の諸特性, 福岡工業大学研究論集，第28巻 第2号（通・36号）,357-364,（1996年 3月）, 桑原改造
  • ガラスとＳｉＯ真空蒸着薄膜のエロージョン特性, 福岡工業大学研究論集， 第29巻第2号（通・38号）,381-388, (1997年 3月）,桑原改造
  • 砥粒や結合剤に対する改質と高結合度・極微粒レジンボンドホイールの開発,福岡工業大学エレクトロニクス研究所所報，第１４巻,63-72, (1997年10月), 仙波卓弥，大森舜二
  • 高周波スパッタリング法を用いた極微粒のダイヤモンド砥粒に対する表面改質と高結合度・極微粒レジンボンドホイールの開発,福岡工業大学エレクトロニクス研究所所報，第15巻,75-82, (1998年10月),仙波卓弥，大森舜二
  • 研削工具のツルーイング及びドレッシング装置，特願平10-P98021MF,1998.
  • 極微粒ダイヤモンド砥粒を用いた多層電着工具の開発, 福岡工業大学エレク トロニクス研究所所報，第16巻,41-48, (1999年10月),仙波卓弥，大森舜二， 田中秀司，北川興
  • 高周波マグネトロンスパッタ法による二酸化珪素膜の機械的特性に及ぼす酸素分圧の影響,福岡工業大学研究論集，第32巻第2号（通・44号），263-270, (2000年 3月）, 李木経孝，遠藤敏郎
  • 高周波マグネトロンスパッタ法を用いた極微粒のダイヤモンド砥粒に対する表面改質，平成10年度～平成11年度科学研究費補助金（基盤研究（Ｃ）（２））研究成果報告書,（2000年3月）, 仙波卓弥，大森舜二
  • 高周波マグネトロンスパッタ法によるセラミック膜のマイクロトライボロジー特性, 福岡工業大学エレクトロニクス研究所所報，第17巻,75-81, (2000年10月),李木経孝
  • 高周波マグネトロンスパッタ法によるAl2O3膜の機械的特性に及ぼす酸素分圧の影響, 福岡工業大学エレクトロニクス研究所所報，第１8巻,63-71,(2001年10月) , 内城憲治，李木経孝
  • マイクログラインディング用ツールの開発とマイクロ金型製造技術への応用,工作機械技術振興財団第22次試験研究助成成果報告書,(2002年9月),仙波卓弥，田中秀司，中原百合子
  • マイクロマシニング用金型のマイクロミーリング加工システムの開発,日本私立学校振興・共済事業団平成14年度私立大学等経常費補助金特別補助（新技術開発研究）採択事業研究成果報告書, (2003年4月),仙波卓弥，河村良行，田中秀司
  • メカニカルマイクロファブリケーションシステムの開発とマイクロ金型製造技術への応用,科学技術振興事業団研究成果活用プラザ福岡重点地域研究開発推進事業研究成果報告書,(2003年5月)
  • 高周波マグネトロンスパッタ法によるアルミナ膜の組成と機械的特性に及ぼす基板温度と酸素分圧の影響, 福岡工業大学エレクトロニクス研究所所報，第２０巻,17-26(2003年10月),李木経孝，内城憲治
  • ペンシル形・微小径電鋳工具の開発とメカニカルマイクロファブリケーションへの応用,平成13年度～平成15年度科学研究費補助金（基盤研究（Ｂ）2）研究成果報告書,（2004年3月）,田中秀司，仙波卓弥，鬼鞍宏猷
  • 高周波マグネトロンスパッタ法によるSiC膜の機械的特性に及ぼす酸素分圧の影響, 福岡工業大学エレクトロニクス研究所所報，第21巻,17-26(2004年10月),李木経孝，天本祥文

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V．学会発表（一般講演）：
  • ＰＶＤによる切削工具のコーティング（第二報）, －Ｒ．Ｆ．スパッタリングによるAl2O3のコーティング－, 昭和52年度精機学会秋季大会学術講演会前刷、75-76 ,（1977年10月17日）, 李木経孝、桑原改造
  • ＰＶＤによる切削工具のコーティング（第三報）, －コーティング膜の膜厚と切削性能の関係－, 昭和52年度精機学会秋季大会学術講演会前刷、77-78,（1977年10月17日）,李木経孝、桑原改造
  • ＰＶＤによる切削工具のコーティング（第四報）, －基板加熱と基板バイアスの効果－, 昭和53年度精機学会春季大会学術講演会前刷、317-318,（1978年 3月31日）,李木経孝、勝間田博之、桑原改造
  • ＰＶＤによる切削工具のコーティング（第五報）, －高速度鋼へのコーティング－, 昭和53年度精機学会春季大会学術講演会前刷,319-320,（1978年 3月31日）, 李木経孝、桑原改造
  • ＰＶＤによる切削工具のコーティング（第六報）, －高速度鋼工具へのコーティング－, 昭和53年度精機学会秋季大会学術講演会前刷、33-34, （1978年10月 3日）, 李木経孝、桑原改造
  • ＰＶＤによる切削工具のコーティング（第七報）, －高速度鋼工具へのコーティング－, 昭和54年度精機学会春季大会学術講演会前刷、11-12,（1979年 3月28日）,西村秋典、李木経孝、近藤光昇、桑原改造
  • ＰＶＤ膜の付着力測定（Ⅰ）, 第41回応用物理学学術講演会予稿集、251,(1980年10月19日）, 李木経孝、桑原改造
  • ＰＶＤ膜の付着力測定（Ⅲ）, 第28回応用物理学関係連合講演会予稿集、290,(1981年 4月 1日）, 西村秋典、桑原改造
  • アルミナ及び炭化チタン膜のスパッタイールド, 第42回応用物理学学術講演会予稿集、282, （1981年10月 7日）,羽根辰男、桑原改造
  • 繰り返し曲げ試験によるＰＶＤ膜の付着力の評価, 第42回応用物理学学術講演会予稿集、315 （1981年10月 9日）, 西村秋典、桑原改造
  • アルミナスパッタ膜のアルゴンイオンによる損耗率に及ぼす膜製作条件の影響,日本潤滑学会広島大会研究発表予稿集、25-28（1981年10月17日）, 羽根辰男、桑原改造
  • 粉体によるＰＶＤ膜の耐摩耗性の研究, 日本潤滑学会春季研究発表会予稿集,181-184,（1982年 5月14日）, 原田寛、桑原改造
  • ＰＶＤ膜の耐摩耗性の研究（粉体に対する耐摩耗性）, 日本潤滑学会東北大会研究発表予稿集,93-96,（1982年10月26日）, 原田寛、桑原改造
  • 薄膜のエロージョン特性, 第30回応用物理学関係連合講演会予稿集,210,（1983年 4月 4日）, 桑原改造
  • ＳｉＯ膜のエロージョン特性, 第44回応用物理学学術講演会予稿集,204,1983年 9月28日）, 桑原改造、西村秋典
  • ＰＶＤ膜のエロージョン特性に及ぼす初期基板温度の影響, 日本潤滑学会九州大会研究発表予稿集､65-68（1983年10月26日）, 桑原改造
  • コーティング膜の摩擦摩耗特性 －硬さの評価－, 日本潤滑学会北陸大会研究発表予稿集,117-120（1984年10月30日）, 桑原改造
  • ＰＶＤ膜の硬さ評価について, 昭和59年度応用物理学会九州支部学術講演会予稿集,（1984年12月 8日）, 桑原改造
  • ＳｉＯ膜の内部応力と硬さ値, 第46回応用物理学学術講演会予稿集,（1985年10月 3日）, 桑原改造
  • 薄膜の硬さ値推定方法とその内部応力が硬さ値に及ぼす影響, 日本潤滑学会全国大会研究発表予稿集,237-240（1985年10月17日）, 桑原改造
  • 真空蒸着法によるＳｉＯ膜の内部応力, 第47回応用物理学学術講演会予稿集,290,（1986年 9月30日）, 桑原改造
  • ＰＶＤ膜の硬さ値　－推定値と測定値－, 第34回応用物理学関係連合講演会予稿集,377（1987年 3月30日）, 桑原改造
  • 真空蒸着法によるＳｉＯ膜硬さの膜厚依存性について, 第48回応用物理学学術講演会予稿集第２分冊，371（1987年10月19日）, 桑原改造
  • 真空蒸着法による一酸化けい素膜の構造と機械的特性, 第35回応用物理学関係連合講演会予稿集第２分冊，465,（1988年 3月30日）, 堀内俊寿，松重和美，桑原改造
  • 真空蒸着法による一酸化けい素膜の焼鈍効果, 第49回応用物理学学術講演会予稿集第２分冊，419,（1988年10月 4日）,堀内俊寿，松重和美，桑原改造
  • 真空蒸着法による一酸化けい素膜の硬さ測定値, ―基板硬度の影響―
    昭和６３年度応用物理学会九州支部講演会講演予稿集，46-47,（1988年12月3日）堀内俊寿，松重和美，桑原改造
  • 高結合度・極微粒ダイヤモンドホイールの開発と金型材料の精密研削（砥粒の表面改質と結合強度）,1997年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集（第１分冊）,249-250 (1997年 3月27日）, 西岡健，仙波卓弥，佐藤眞，竹内恵三
  • 高周波マグネトロンスパッタ法による極微粒ダイヤモンド砥粒の表面改質,ABTEC'97（砥粒加工学会学術講演会）講演論文集,315-316, （1997年 9月12日）,仙波卓弥,佐藤眞,竹内恵三
  • 新しいコーティングを施した高性能ダイヤモンド砥粒, 平成９年度砥粒加工学会第３回研究・見学会資料, (1997年12月 4日),仙波卓弥
  • 電気泳動現象を利用した半球状極微粒レジンボンドホイールのツルーイングとドレッシング, 1998年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集,460. (1998年 3月19日), 仙波卓弥,佐藤眞
  • 高周波マグネトロンスパッタ法による極微粒ダイヤモンド砥粒の表面改質,（スパッタ条件と膜質）, 1998年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集,284. (1998年 3月20日), 仙波卓弥,佐藤眞,竹内恵三
  • ヘリコン型マグネトロンスパッタ法によるAl2O3膜の作製， 第45回応用物理学関係連合講演会予稿集第２分冊，465， (1998年 3月28日),李木経孝
  • 電気泳動現象により創成される液中での半固定砥石を利用した極微粒レジンボンドホイールのツルーイングとドレッシング, ABTEC'98（砥粒加工学会学術講演会）講演論文集,138-139, (1998年 9月 2日), 仙波卓弥,佐藤眞
  • 高周波マグネトロンスパッタ法による極微粒ダイヤモンド砥粒の表面改質,1998年度精密工学会佐賀地方講演会講演論文集,29-30.(1998年11月 7日),仙波卓弥
  • 高周波マグネトロンスパッタ法によるSiO2膜の機械的特性,～酸素分圧と結晶粒径～, 第46回応用物理学関係連合講演会予稿集第２分冊，632．(1999年3月28日),李木経孝
  • 高周波マグネトロンスパッタ法によるSiO2膜の機械的特性と膜組成に及ぼす酸素流量の影響, 第60回応用物理学学術講演会予稿集第２分冊，520.(1999年9月 3日),李木経孝
  • 高周波マグネトロンスパッタ法によるAl2O3膜の機械的特性に及ぼす酸素分圧の影響, 第47回応用物理学関係連合講演会予稿集第２分冊，586． (2000年 3月29日) , 李木経孝
  • 高周波マグネトロンスパッタ法によるAl2O3膜の機械的特性と組成, 第61回応用物理学学術講演会予稿集第２分冊，513 ,(2000年 9月 5日),李木経孝
  • 高周波マグネトロンスパッタ法によるAl2O3膜の耐摩耗性に及ぼす酸素分圧及び基板温度の影響, 第62回応用物理学学術講演会予稿集第２分冊，450, (2001年 9月11日)
  • 極微粒cBN砥粒に対する表面改質とマイクロ研削工具への応用, 日本機械学会第33回学生員卒業研究発表講演会講演概要集，(2002年3月17日)，石田暢之，原隆之，本田強志，仙波卓弥
  • 高周波マグネトロンスパッタ法によるAl2O3膜のトライボロジー特性, 第49回応用物理学関係連合講演会予稿集第２分冊.625,(2002年 3月29日)
  • 高周波マグネトロンスパッタ法によるSiC膜の機械的特性,2004年度精密工学会秋季大会学術講演会論文集，635-636,(2004年9月15日),濱崎和雅，李木経孝
  • ヘリコン高周波マグネトロンスパッタ法によるSiC膜の耐摩耗性に及ぼすターゲットの炭素含有量の影響,2005年度精密工学会秋季大会学術講演会論文集，811-812,(2005年9月16日),濱崎和雅，李木経孝
  • ヘリコン高周波マグネトロンスパッタ法によるアルミナ膜の耐摩耗性に及ぼす酸素分圧の影響,2005年度精密工学会秋季大会学術講演会論文集，813-814,(2005年9月16日),濱崎崇則，李木経孝

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