ピエゾ[Piezo]

ピエゾとは、電圧をかけることにより伸びを変えることができる素子である。

ピエゾをミラーの端に付け、片方の端を固定する。電圧をかけることにより、ミラーの角度を変えることができる。

ピエゾの定格周波数は15(kHz)である。よって高速動作が可能であり、レーザーの振動にもついていける。

　

ミラーの角度（0.0345°）を変えるにはピエゾの伸びは9.92(μm)必要である。

（但しミラーの長さを74(mm)とする。）

　

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