PID
制御回路製作ピエゾ駆動制御ミラーの動作実験結果を図に示す。
周期0.01s(100Hz)程度の振動に対応できるものを目標としていた、図より目標を十分に満たしていることがわかった。
制御対象であるピエゾ駆動制御ミラーの伝達関数を基にPIDのパラメータを設計してPID制御回路の製作を行った。
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むだ時間Lと時定数Tがわかったことにより、
KP:TI:TD =1.2T/L:2.0L:0.5L からPIDのパラメータを設定することができる。実験用のKPを158.6としたので、PIDのパラメータはKP:TI:TD =158.6 : 29.3×10-3 : 7.33×10-3となる。PIDのパラメータをもとにPID制御回路の各値を決定した。
PID制御回路の伝達関数
KP=R3/R4, TI=RICI, TD=RDCD, α=1+RD/RI+RDCD/RICI, KD=(R1+R2)/R2
R3=158.6[kΩ], R4=1[kΩ], RI=2.93[kΩ], CI=10[μF], RD=7.33[kΩ], CD=1[μF]
KD=10
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