結果
1.ピエゾ駆動制御ミラーを選定し、制御幅や周波数応答が条件を満たしていることを測定した。
2.ピエゾ駆動制御ミラーの伝達関数実験より制御回路のPIDパラメーターを決め、制御回路の製作を行った。
3.位置安定化機構を含めた新しい光学系を設計した。
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