半導体デバイス
製作実験センター

利用方法

クリーンルーム利用方法(動画)

クリーンルーム利用の手引き

1. まえがき

福岡工業大学では,主に半導体デバイス関連の学生実験,教育,研究を目的としてクリーンルームが設置されています.クリーンルーム内の設備・機器・装置は共同施設のため有効活用を希望する教員,学生などが利用できます,是非ご利用下さい.常駐者がいないため下記の点を守って下さい.

2. 保有装置

別項に記載します.

3. 利用時間

  1. 利用時間は,原則として,授業・学生実験が行われていない日の午前9時から午後5時までです.時間内に作業や,かたづけが終了するように計画を立案して下さい.
  2. 年末年始,お盆などの本学休業日はクリーンルームコンポ,装置,機器類は停止しますので利用できません.
  3. 保守点検(年2回)の日は停止しますので利用できません.

4. クリーンルーム利用申請

クリーンルームの使用にはあらかじめ利用申請書を提出して下さい.クリーンルーム委員会で内容を確認し,許可された場合に利用が可能となります.
申請書には実験計画,使用方法,使用する薬品類(特に金属)を記入して下さい.申請書は実験開始日より数週間前までに行って下さい.提出先は,委員長または,学科の委員へ提出下さい.

 

クリーンルーム使用願書避難経路

 

なお,利用者の指導教員が,その利用時間の責任を負っていただくことになります. 指導教員は安全面に特に注意して利用および指導をよろしく願います.

5. クリーンルーム入室方法

クリーンルーム内は,空気清浄度を保つため,ほぼ密閉されております.また,IC製作用の精密機械が設置されております.入室する時には,防塵対策上および維持管理上から,次のことを厳守して下さい.

  1. 名簿に,氏名,所属,入室時間,退室時間を記入し,クリーンルーム前室入り口で履物を脱いで下さい.
  2. 前室において,無塵衣,無塵帽子,無塵靴を着用して下さい.髪が無塵衣の外に出ないように注意下さい.
  3. クリーンルーム内に持ち込むものは,最少限にとどめて下さい.筆記用具のシャープペンシル,鉛筆,消しゴムは持ち込まないようにして下さい.
  4. エアーシャワー室ではクリーンマットの中央に立ち,靴の汚れを落とし,エアーシャワーを浴びてクリーンルーム内に入って下さい.
  5. エアーシャワーは,エアーシャワー室に入ったのち,ドアを完全に閉めると,約20秒間空気が出たのち,止まります.ドアを開けてクリーンルーム内に入って下さい.エアーシャワー室には5人以上同時に入らないで下さい.
  6. 退室の際はエアーシャワー室のドアを閉めたのち,他方のドアを開けて外に出て下さい(同時に両方のドアを開けないで下さい).

6. クリーンルーム退室方法

  1. 無塵衣,無塵帽子,無塵靴は所定の場所に戻し,退出時間,チェック項目を記帳して下さい.
  2. クリーンルーム内,前室の清掃を願います.また,利用機器の供給電源の停止,ガスの停止,冷却水の停止の再確認を願います.ゴミ,持ち込んだ薬品は,室外に出して下さい.
  3. 緊急時の避難
    緊急時には,避難ドアからも避難できます.避難経路は入室時に確認下さい.

7. 清掃

  1. まず大きなゴミについては手で拾い,ごみ箱に捨てる.
  2. 掃除機を用いて床の上の細かいゴミを取る.
  3. 掃除機の後にクリーンルーム専用モップを用いて空拭きする.
  4. 利用した机上も空拭きをする.
  5. ゴミ箱のゴミを捨てる.
  6. 清掃用具は使用後速やかにもとの位置に戻す.

8. ゴミの分別回収

クリーンルームでは可燃物用と不燃物用のごみ箱があるので分別回収に協力下さい.
可燃物:紙類,コットン等燃えるもの
不燃物:主に,サニメント手袋,金属類

9. 空調

クリーンルーム内の温度・湿度は以下の基準で空気調和を行っています.

  1. 温度 夏25℃ 冬24℃(電気炉の使用状況で変動します)
  2. 湿度 約50%
  3. クリーン度 実験室Ⅰ クラス10,000以下
    フォトリソ室 クラス1,000以下

10. ドラフトチャンバー

グローブやガスマスクの使用を必要とする処理工程もあるため,化学処理には充分注意を払い,各試薬の取り扱い方法,廃液処理方法に従って下さい.

  1. クリーンルームでの使用試薬瓶,ピンセット,ビーカーは所定の位置に整然と整理して下さい.
  2. 廃液処理は,無機廃液,有機廃液,剥離液用の廃液タンクは準備していますが,特殊な薬品の廃液は各研究室で,本学廃液委員会の廃棄物取り扱いの手引きに従って下さい.
    なお,1. チャンバーは利用時だけスイッチを投入して下さい.
    2. 常時投入すると,クリーン度に悪影響をおよぼします.チャンバー内は清浄を保つように願います.使用後は扉を閉じて下さい.

11. ガス類

クリーンルームでは,危険なガス類は使用していません.超高純度酸素,高純度窒素,高純度アルゴンガスの供給・排出設備は準備しています.

12. 液体窒素

  1. 真空蒸着装置の拡散ポンプなどで使用する液体窒素は,各研究室で準備下さい.
  2. 真空蒸着装置の冷却水は循環冷却方式を採用しています,蒸着装置を利用する場合は冷却水のポンプを作動し,装置を停止する場合は,拡散ポンプを充分冷却した後に冷却水のポンプを停止して下さい.

13. その他の注意

  1. ピンセットは,それぞれの工程(特に,熱処理が必要な試料)で定めた専用のものを使用して下さい.
  2. フォトリソ室の前照灯表示が使用中とある時は,関係者以外のフォトリソ室ドアの開閉はしないで下さい.
  3. 実験中は原則として装置の近くに待機して下さい.
  4. フッ酸にアルコール類を混入させないこと.発火・火災の要因となります.
  5. 実験室照明の節電に協力下さい.
  6. 装置に異常があった時は,主務者(田中教授)へ連絡すること.

14. 最終退室者の点検事項

最終退室者となった人は,次の点検・操作を行って下さい.

  1. クリーンルーム内・前室の消灯
  2. ドラフトチェンバーの消灯 注意事項(特に注意を要する事項をクリーンルームに掲示しています).

クリーンルーム内特別注意事項

  1. クリーンルームは,密閉された特別環境にある部屋なので,作業が円滑かつ安全に行われるように,特に注意して下さい.
  2. 放歌や私語など騒々しい行為は禁止します.その他,グループの秩序を乱すような自己本位な行動も禁止します.
  3. 室内のいかなる機器も,指導員の指示や許可なしには絶対に触れたり操作をしないで下さい(危険な薬品,ガスなど初心者が予備知識なしに扱うと,大事故につながるものがたくさんあります).
  4. エッチング液をのぞきこまないこと.特に,フッ化水素酸(HF)の飛まつが,目に入ったり,皮膚に付着したりすると,人体に重大な傷害が発生することがあります.万一,薬品(HF以外でも)が目に入った時は,直ちに大量の流水で洗眼し,また,手足などの皮膚に付着した時も直ちに大量の流水で洗い指導員の指示を仰いで下さい.
  5. 半導体処理においては,不純物の汚染を極力避けなければなりませんので,試料の取扱いや,洗浄容器,エッチング容器,熱処理ボードの取扱いには細心の注意を払い,指導員の指示通りに行って下さい.
  6. 使用済みの薬品類は,指定された廃液溜めに捨てて下さい.
  7. その他異常が生じた時は,指導員の指示通りに冷静に行動して下さい.

注意事項

  1. クリーンルーム利用にあたっては,クリーンルーム内特別注意事項を十分に理解し厳守すること.
  2. クリーンルーム利用時間は原則として午前9時より午後5時までとする.
  3. クリーンルーム利用の後は,室内,前室を清掃し,廃液およびゴミの処置をすること.
  4. 退室するときは必ず電源を切り,水を止めること.
  5. 卒業研究などで利用するときは,安全確保のため,利用する旨を担当教員に連絡し,必ず複数の人員で入室すること.
  6. 無許可で機器類の操作や修理をすることは禁止する.
  7. 7階と8階は禁煙です.
  8. 冷却水は循環冷却方式をとっています.冷却水ポンプのスイッチはシャワールームの左側にあるので,使用後は停止すること.
  9. クリーンルーム内での私語は慎むこと.

利用状況

学生実験,卒業研究,修士課程特別研究,教員の研究,共同研究での利用者は単年度累計で約900名におよびます.
クリーンルームの運営管理は開設以来,委員会(委員長北川興教授)を置き,安全かつ円滑な運用に努力し終退室者となった人は, 点検・操作を行って下さい.

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