電子材料、デバイス、電子計測、光エレクトロニクスを研究する「電子工学部門」と、機械材料、精密加工、エネルギー変換、電気機器などを研究する「生産工学部門」、物理学、数学などの「関連部門」で構成され、その結果は、国内外の学会誌などに発表されたり、研究所報に報告されたりするなど幅広く紹介されています。また、最新鋭の電子線マイクロアナライザやマーカス型高周波グロー放電発光表面分析装置など、日本有数の高性能分析機器を揃えた「計測センター」を備えています。